摘要：随着科学技术的进步,光学薄膜及相关技术不论从广度还是深度来看都得到了显著发展,并逐渐渗透到现代技术和高端技术等领域。对光学薄膜的3种制备技术:物理气相学沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和化学液相沉积(CLD)进行了分析。综述了几种新型光学薄膜(金刚石薄膜及类金刚石薄膜、软X射线多层膜、太阳能选择性吸收膜、高强度激光膜)的研究进展以及光学薄膜的应用情况。

　　光学薄膜技术是一门交叉性很强的学科,它涉及到光电技术、真空技术、材料科学、精密机械制造、计算机技术、自动控制技术等领域。光学薄膜是一类重要的光学元件,它广泛地应用于现代光学、光电子学、光学工程以及其他相关的科学技术领域[1]。它不仅能改善系统性能(如减反、滤波

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　　1、光学薄膜制备技术

　　2、光学薄膜的研究新进展

　　3、光学薄膜的应用

　　4、结束语

　　4 结束语

　　近年来，作为特殊材料形态的光学与光电子薄膜已广泛渗透到各个新兴的科技领域。引人注目的光折射薄膜、光子探测薄膜、薄膜光子晶体、量子点薄膜、纳米或亚波长尺度的多维结构、高电光系数的铁电非线性薄膜、传感功能薄膜、高密度体记录薄膜和有机显示薄膜等，其各种特异性能的开发与应用都与光学薄膜的特性相关。

　　目前，我国的光学与光电子产业得到迅猛发展，在设备的提升和产业队伍的建设方面取得了不小的进步，在制备技术、膜系设计、工艺控制、特性测试和应用开发等方面都开展了卓有成效的工作，取得了广泛的研究成果，同时形成了一定的产业规模[13]。光学薄膜技术是激光技术、红外技术及航天等高科技所需的关键技术，没有薄膜技术和光学薄膜的发展，就没有现代技术和尖端技术的发展。