BluGlass新GaN制备工艺实现成本节约
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上传人：未知 上传时间： 2007-04-11 浏览次数： 34 |
由于RPCVD使用氮代替氨气并将蓝宝石衬底变成玻璃衬底，使得材料和一次性费用减少了70%。而RPCVD本身工作温度比MOCVD低，这意味着七年寿命周期后其运行成本将比MOCVD少800万美元。
但RPCVD法在芯片级实现的成本节约却不太明显。假定蓝宝石上GaN （GaN-on-sapphire）外延片和玻璃板上GaN（GaN-on-glass）外延片的后端加工成本相同，WWK的模型显示RPCVD法制备的LED芯片成本仅比传统蓝光LED芯片低10%。
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