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产品 > 宏展无尘高温试验箱 精密洁净烘箱
一.用途:
PVC无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
二.特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到*佳温度控制精度。
三.产品技术参数:
1.主要技术指标:
无尘等级:Class 100; 温度范围: 60~ +300℃;
温度均匀度:200℃±4℃; 温度波动度:±0.5℃(空载)
温控精度:±0.1℃; 工作尺寸:W800×D600×H1300
电源:380v , 50Hz,15KW 网板:2块(高度可调节)
型号 温度范围 内容积 其它参数 内尺寸
(W×H×Dmm) 外尺寸
(W×H×Dmm) OVEN C178 (RT+60)~+200℃ 178L 洁净度:100级 580×530×580 770×1,280×1,025 OVEN C380 (RT+60)~+200℃ 380L 洁净度:100级 580×1130×580 770×1,880×1,025 OVEN C678 (RT+60)~+200℃ 678L 洁净度:100级 800×1130×750 1,030×1,880×1,025 OVEN CH178 (RT+60)~+300℃ 178L 洁净度:100级 580×530×580 770×1,280×1,025 OVEN CH380 (RT+60)~+300℃ 380L 洁净度:100级 580×1,130×580 770×1,880×1,025 OVEN CH678 (RT+60)~+300℃ 678L 洁净度:100级 800×1,130×750 1030×1,880×1,210 OVEN CH347 (RT+60)~+300℃ 347L 洁净度:100级 580×1,130×530 770×1,880×1,025 OVEN CH633 (RT+60~+300℃ 633L 洁净度:100级 800×1,130×700 1,030×1,880×1,210
(W×H×Dmm)
(W×H×Dmm)